穆格MOOG伺服閥脈寬調(diào)制氣動(dòng)伺服控制是一種數(shù)字式伺服控制，采用的控制閥是開關(guān)式氣動(dòng)電磁閥。脈寬調(diào)制氣動(dòng)伺服系統(tǒng)如圖所示。輸入的模擬信號經(jīng)脈寬調(diào)制器調(diào)制成具有一定頻率和一定幅值的脈沖信號，經(jīng)數(shù)字放大后控制氣動(dòng)電磁閥。電磁閥輸出的是具有一定壓力和流量的氣動(dòng)脈沖信號，但已具有足夠的功率，能借助氣動(dòng)執(zhí)行元件對負(fù)載做功。脈沖信號必須通過低通濾波器還原成模擬信號去控制負(fù)載。低通濾波器可以是氣動(dòng)執(zhí)行元件，也可以是負(fù)載本身。穆格MOOG伺服閥采用前者濾波方式的稱脈寬調(diào)制線性化系統(tǒng)，采用后者濾波的是依靠負(fù)載的較大慣性，它不能響應(yīng)高頻的脈沖信號，只能響應(yīng)脈寬調(diào)制信號的平均效果。
穆格MOOG伺服閥的性能主要是動(dòng)態(tài)響應(yīng)和對稱性要求。假設(shè)加在電磁鐵上的是方波脈沖信號，從電磁鐵接到信號到執(zhí)行元件開始動(dòng)作這段時(shí)間稱信號的延遲時(shí)間。延遲時(shí)間包括三部分，一是電磁線圈中電流由零逐漸增大到銜鐵開始運(yùn)動(dòng)的電流增長時(shí)間；二是銜鐵與閥芯一起運(yùn)動(dòng)的時(shí)間；三是從節(jié)流口打開、執(zhí)行元件工作腔進(jìn)行放氣到執(zhí)行元件開始動(dòng)作的固定容器充放時(shí)間。前兩部分時(shí)間是由脈寬調(diào)制伺服閥決定。脈寬調(diào)制氣動(dòng)伺服的工作頻率一般是十幾赫茲到二三十赫茲。穆格MOOG伺服閥為了滿足動(dòng)態(tài)響應(yīng)快的特點(diǎn)，要求延遲時(shí)間越短越好，一般控制在1~2ms以內(nèi)。
穆格MOOG伺服閥閥芯往復(fù)運(yùn)動(dòng)的響應(yīng)要一致，即加在兩個(gè)電磁鐵上的脈沖信號在傳遞過程中延遲時(shí)間應(yīng)基本相同，兩輸出口的壓力與流量應(yīng)基本相同；對三通球閥，對應(yīng)脈沖信號上升沿下降沿的延遲時(shí)間應(yīng)基本相同，球閥的充氣過程和排氣過程應(yīng)基本相同。由于三通球閥與差動(dòng)氣缸匹配，其對稱性不如四通滑閥好。為了提高四通滑閥的快速響應(yīng)，常采用力反饋來提高閥芯反向運(yùn)動(dòng)的速度。所采用的是彈簧反饋的形式。當(dāng)信號反向時(shí)，彈簧力幫助閥芯反向運(yùn)動(dòng)，穆格MOOG伺服閥當(dāng)閥芯運(yùn)動(dòng)過了中位，彈簧力改變，起阻止閥芯運(yùn)動(dòng)的作用，并能減輕閥芯到位的沖擊力，降低噪聲。也有采用氣壓反饋的形式，其作用原理是一樣的。